【国家标准(GB)】 硅片局部平整度非接触式标准测试方法

本网站 发布时间: 2005-09-19 15:00:00
  • GB/T19922-2005
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 19922-2005

  • 标准名称:

    硅片局部平整度非接触式标准测试方法

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2005-09-19
  • 实施日期:

    2006-04-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    冶金>>金属材料试验>>77.040.01金属材料试验综合
  • 中标分类号:

    冶金>>金属化学分析方法>>H17半金属及半导体材料分析方法

关联标准

  • 采标情况:

    ASTM F1530-1994 MOD

出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 书号:

    155066.1-26922
  • 页数:

    16开, 页数:9, 字数:14千字
  • 标准价格:

    10.0 元
  • 出版日期:

    2005-12-16
  • 计划单号:

    20011279-T-610

其他信息

  • 首发日期:

    2005-09-19
  • 起草人:

    史炯、蒋建国、陈兴邦、贺东江、王文、邓德翼
  • 起草单位:

    洛阳单晶硅有限责任公司
  • 归口单位:

    信息产业部(电子)
  • 提出单位:

    中国有色金属工业协会
  • 发布部门:

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国家标准化管理委员会
  • 主管部门:

    信息产业部(电子)
标准简介标准简介/下载

点击下载

标准简介:

本标准规定了用电容位移传感法测定硅片表面局部平整度的方法。本标准适用于无接触、非破坏性地测量干燥、洁净的半导体硅片表面的局部平整度。适用于直径100mm及以上、厚度250μm及以上腐蚀、抛光及外延硅片。 GB/T 19922-2005 硅片局部平整度非接触式标准测试方法 GB/T19922-2005 标准下载解压密码:www.bzxz.net
  • 推荐标准
  • 国家标准(GB)标准计划
设为首页 - 收藏本站 - - 返回顶部
请牢记:“bzxz.net”即是“标准下载”四个汉字汉语拼音首字母与国际顶级域名“.net”的组合。 ©2009 标准下载网 www.bzxz.net 本站邮件:[email protected]
网站备案号:湘ICP备2023016450号-1