【国家标准(GB)】硅片参考面结晶学取向X射线测量方法

本网站发布时间： 1992-02-19 16:00:00

GB/T13388-1992
现行

基本信息

标准号：
GB/T 13388-1992
标准名称：
硅片参考面结晶学取向X射线测量方法
标准类别：
国家标准(GB)
标准状态：
现行
发布日期：
1992-02-19
实施日期：
1992-10-01
出版语种：
简体中文
下载格式：
.rar.pdf
下载大小：
KB

标准分类号

标准ICS号：
29.040.30
中标分类号：
冶金>>金属理化性能试验方法>>H21金属物理性能试验方法

关联标准

采标情况：
＝ASTM F847

出版信息

出版社：
中国标准出版社
页数：
平装16开，页数：6，字数：7000
标准价格：
8.0 元

其他信息

首发日期：
1992-02-19
复审日期：
2004-10-14
起草单位：
北京有色金属研究总院
归口单位：
全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门：
国家技术监督局
主管部门：
国家标准化管理委员会

标准简介/下载

点击下载

标准简介：

本标准规定了用Ｘ射线技术测量硅片参考面结晶学取向的方法。本标准适用于硅片参考面结晶学取向与参考面规定取向之间角度偏差的测量。硅片直径为50～125mm，参考面长度为10～50mm。本标准不适用于硅片规定取向在与参考面和硅片表面相垂直的平面内的投影与硅片表面法线之间夹角不小于3°的硅片的测量。 GB/T 13388-1992 硅片参考面结晶学取向X射线测量方法 GB/T13388-1992 标准下载解压密码：www.bzxz.net

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