【国家标准(GB)】 硅单晶抛光片

本网站 发布时间: 2003-06-01 15:00:00
  • GB/T12964-2003
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 12964-2003

  • 标准名称:

    硅单晶抛光片

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    2003-06-01
  • 实施日期:

    2004-01-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    电气工程>>29.045半导体材料
  • 中标分类号:

    冶金>>半金属与半导体材料>>H82元素半导体材料

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出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 书号:

    155066.1-19868
  • 页数:

    平装16开, 页数:11, 字数:17千字
  • 标准价格:

    10.0 元
  • 出版日期:

    2004-01-01

其他信息

  • 首发日期:

    1991-06-04
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草单位:

    洛阳单晶硅厂
  • 归口单位:

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 发布部门:

    中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

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标准简介:

本标准规定了硅单晶抛光片的必要的相关性术语、产品分类、技术要求、试验方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于直拉硅单晶研磨片经腐蚀减薄后进行单面抛光制备的硅抛光片。产品主要用于制作集成电路等半导体器件或做为硅外延沉积的衬底。 GB/T 12964-2003 硅单晶抛光片 GB/T12964-2003 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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