资料名称: | GB/T6621-1995 GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法 |
标准类别: | 国家标准(GB) |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | 现行 | ||
作废日期: | ◎ | ||
发布日期: | 1995-04-18 | ||
实施日期: | 1995-01-02 | ||
首发日期: | 1986-07-26 | ||
复审日期: | 2004-10-14 | ||
出版日期: | ◎ |
标准编号: | GB/T 6621-1995 | |
标准名称: | 硅抛光片表面平整度测试方法 | |
下载文件: | .rar .pdf .doc | |
标准简介: | 本标准规定了用相干光的干涉现象测量硅抛光片表面平整度的方法。本标准适用于检测硅抛光片的表面平整度,也适用于检测硅外延片和类镜面状半导体晶片的表面平整度。 GB/T 6621-1995 硅抛光片表面平整度测试方法 GB/T6621-1995 标准下载解压密码:www.bzxz.net | |
链接地址: | 点击下载 | |
替代情况: | GB 6621-1986(参考) | |
采标情况: | ASTM F 775-1988,EQV(参考) | |
发布部门: | 国家技术监督局(参考) | |
提出单位: | (参考) | |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(参考) | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会(参考) | |
起草单位: | 电子部标准化所(参考) | |
起 草 人: | (参考) | |
出 版 社: | 中国标准出版社(参考) |
|
页 数: | 平装16开, 页数:11, 字数:21千字(参考) | |
书 号: | (参考) | |
计划单号: | (参考) | |
下载次数: | 15次 |