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【电子行业标准(SJ)】 卧式液相外延系统通用规范
本网站 发布时间:
2002-10-30 16:00:00
- SJ/T11275-2002
- 现行
标准号:
SJ/T 11275-2002
标准名称:
卧式液相外延系统通用规范
标准类别:
电子行业标准(SJ)
标准状态:
现行-
发布日期:
2002-10-30 -
实施日期:
2003-03-01 出版语种:
简体中文下载格式:
.rar.pdf下载大小:
KB
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标准简介:
本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。 SJ/T 11275-2002 卧式液相外延系统通用规范 SJ/T11275-2002 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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