【国家标准(GB)】 焦深与最佳聚焦的测量规范

本网站 发布时间: 1999-09-01 15:00:00
  • GB/T17865-1999
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 17865-1999

  • 标准名称:

    焦深与最佳聚焦的测量规范

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1999-09-01
  • 实施日期:

    2000-06-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    电子学>>31.200集成电路、微电子学
  • 中标分类号:

    电子元器件与信息技术>>微电路>>L56半导体集成电路

关联标准

  • 采标情况:

    idt SEMI P25:1994

出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 书号:

    155066.1-16385
  • 页数:

    7页
  • 标准价格:

    10.0 元
  • 出版日期:

    2004-08-22

其他信息

  • 首发日期:

    1999-09-13
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草人:

    陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明
  • 起草单位:

    中国科学院微电子中心
  • 归口单位:

    SEMI中国标准化技术委员会
  • 提出单位:

    中国科学院
  • 发布部门:

    国家质量技术监督局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

点击下载

标准简介:

本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样,因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。 GB/T 17865-1999 焦深与最佳聚焦的测量规范 GB/T17865-1999 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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