资料名称: | GB/T17169-1997 GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 |
标准类别: | 国家标准(GB) |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | 已作废 | ||
作废日期: | 2005-10-14 | ||
发布日期: | 1997-01-02 | ||
实施日期: | 1998-08-01 | ||
首发日期: | ◎ | ||
复审日期: | 2004-10-14 | ||
出版日期: | 2004-04-12 |
标准编号: | GB/T 17169-1997 | |
标准名称: | 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 | |
下载文件: | .rar .pdf .doc | |
标准简介: | 本标准规定了半导体硅抛光片和外延片表面常见缺陷的光反射无损检验方法。本标准适用于半导体硅抛光片和外延片表面质量的无损检验。本标准的检验结果与GB/T 6624、GB/T 14142的检验结果一致。 GB/T 17169-1997 硅抛光片和外延片表面质量光反射测试方法 GB/T17169-1997 标准下载解压密码:www.bzxz.net | |
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替代情况: | (参考) | |
采标情况: | (参考) | |
发布部门: | 国家技术监督局(参考) | |
提出单位: | (参考) | |
归口单位: | 全国半导体材料和设备标准化技术委员会(参考) | |
主管部门: | 国家标准化管理委员会(参考) | |
起草单位: | 南开大学,天津市半导体材料厂(参考) | |
起 草 人: | (参考) | |
出 版 社: | 中国标准出版社(参考) |
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页 数: | 平装16开, 页数:10, 字数:15千字(参考) | |
书 号: | 155066.1-14930(参考) | |
计划单号: | (参考) | |
下载次数: | 10次 |