【国家标准(GB)】 电子工业用气体 氮

本网站 发布时间: 1997-08-13 15:00:00
  • GB/T16944-1997
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 16944-1997

  • 标准名称:

    电子工业用气体 氮

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1997-08-13
  • 实施日期:

    1998-05-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
  • 中标分类号:

    化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

关联标准

  • 采标情况:

    ≡SEMI C3.28-92

出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 书号:

    155066.1-14392
  • 页数:

    平装16开, 页数:6, 字数:6千字
  • 标准价格:

    8.0 元
  • 出版日期:

    2004-04-11

其他信息

  • 首发日期:

    1997-08-13
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草单位:

    化学工业部西南化工研究院
  • 归口单位:

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 发布部门:

    国家技术监督局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

点击下载

标准简介:

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于从分离空气或氨还原法制得的氮,在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压,也用于化学气相淀积时的载气等。 GB/T 16944-1997 电子工业用气体 氮 GB/T16944-1997 标准下载解压密码:www.bzxz.net
  • 推荐标准
  • 国家标准(GB)标准计划
设为首页 - 收藏本站 - - 返回顶部
请牢记:“bzxz.net”即是“标准下载”四个汉字汉语拼音首字母与国际顶级域名“.net”的组合。 ©2009 标准下载网 www.bzxz.net 本站邮件:[email protected]
网站备案号:湘ICP备2023016450号-1