【国家标准(GB)】 电子工业用气体 氦

本网站 发布时间: 1997-08-13 15:00:00
  • GB/T16943-1997
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 16943-1997

  • 标准名称:

    电子工业用气体 氦

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1997-08-13
  • 实施日期:

    1998-05-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
  • 中标分类号:

    化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

关联标准

  • 采标情况:

    ≡SEMI C3.20-92

出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 书号:

    155066.1-14391
  • 页数:

    平装16开, 页数:6, 字数:7千字
  • 标准价格:

    8.0 元
  • 出版日期:

    2004-04-11

其他信息

  • 首发日期:

    1997-08-13
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草单位:

    化学工业部西南化工研究院
  • 归口单位:

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 发布部门:

    国家技术监督局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

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标准简介:

标准规定了电子工业用氦气的技术要求、检验方法以及包装、标志等,适用于以深冷法从天然气、空气或工厂弛放气提取的高纯度氦,在半导体及其器件生产中用作清洗气、加压气,也用作载气和保护气等。 GB/T 16943-1997 电子工业用气体 氦 GB/T16943-1997 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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