【国家标准(GB)】 电子工业用气体 高纯氨

本网站 发布时间: 1993-08-26 15:00:00
  • GB/T14601-1993
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 14601-1993

  • 标准名称:

    电子工业用气体 高纯氨

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1993-08-26
  • 实施日期:

    1994-07-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
  • 中标分类号:

    化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

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出版信息

  • 页数:

    5页
  • 标准价格:

    8.0 元

其他信息

  • 首发日期:

    1993-08-26
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草单位:

    化工部西南化工研究院
  • 归口单位:

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 发布部门:

    国家技术监督局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

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标准简介:

本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求,试验方法,检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业,氮化硅的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。 GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨 GB/T14601-1993 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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