【国家标准(GB)】 电子工业用气体 氧化亚氮

本网站 发布时间: 1993-08-26 15:00:00
  • GB/T14600-1993
  • 现行

基本信息

  • 标准号:

    GB/T 14600-1993

  • 标准名称:

    电子工业用气体 氧化亚氮

  • 标准类别:

    国家标准(GB)

  • 标准状态:

    现行
  • 发布日期:

    1993-08-26
  • 实施日期:

    1994-07-01
  • 出版语种:

    简体中文
  • 下载格式:

    .rar.pdf
  • 下载大小:

    KB

标准分类号

  • 标准ICS号:

    化工技术>>化工产品>>71.100.20工业气体
  • 中标分类号:

    化工>>其他化工产品>>G86工业气体与化学气体

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出版信息

  • 出版社:

    中国标准出版社
  • 页数:

    6页
  • 标准价格:

    17.0 元
  • 出版日期:

    1994-07-01

其他信息

  • 首发日期:

    1993-08-26
  • 复审日期:

    2004-10-14
  • 起草人:

    段淑芳
  • 起草单位:

    化工部西南化工研究院
  • 归口单位:

    全国半导体材料和设备标准化技术委员会
  • 提出单位:

    中华人民共和国化学工业部
  • 发布部门:

    国家技术监督局
  • 主管部门:

    国家标准化管理委员会
标准简介标准简介/下载

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标准简介:

本标准规定了电子工业用气体——瓶装氧化亚氮的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存要求。本标准适用于硝酸铵热分解工艺制取的氧化亚氮。该产品主要用于电子工业中二氧化硅的化学气相淀积、等离子工艺。 GB/T 14600-1993 电子工业用气体 氧化亚氮 GB/T14600-1993 标准下载解压密码:www.bzxz.net
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