资料名称: | GB/T17473.6-2008 GB/T 17473.6-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 |
标准类别: | 国家标准(GB) |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | 现行 | ||
作废日期: | ◎ | ||
发布日期: | 2008-03-31 | ||
实施日期: | 2008-09-01 | ||
首发日期: | 1998-08-19 | ||
复审日期: | ◎ | ||
出版日期: | 2008-06-01 |
标准编号: | GB/T 17473.6-2008 | |
标准名称: | 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 | |
下载文件: | .rar .pdf .doc | |
标准简介: | 本标准代替GB/T17473—1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法》(所有部分),本标准分为7个部分,本部分为GB/T17473—2008的第6部分。 本部分规定了微电子技术用贵金属浆料分辨率的测定方法。本部分适用于微电子技术用贵金属浆料的分辨率测定。 本部分代替GB/T17473.6—1998 《厚膜微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定》。本部分与GB/T17473.6—1998相比,主要有如下变动:———将原标准名称修改为微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定;———增加了固化型贵金属浆料分辨率测定的内容;———原“光刻膜丝网网径20?25μm 不锈钢丝网”改为“光刻膜丝网,丝网孔径不大于54μm”;———增加6.3将印有固化型的试样按其规定的工艺要求进行静置、烘干、固化,固化后试样膜厚控制在1μm~15μm;———分辨率规格分级重新定义为0.1mm、0.2mm、0.3mm、0.4mm、0.5mm 五个级别。 GB/T 17473.6-2008 微电子技术用贵金属浆料测试方法 分辨率测定 GB/T17473.6-2008 标准下载解压密码:www.bzxz.net | |
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替代情况: | 替代GB/T 17473.6-1998(参考) | |
采标情况: | (参考) | |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会(参考) | |
提出单位: | 中国有色金属工业协会(参考) | |
归口单位: | 全国有色金属标准化技术委员会(参考) | |
主管部门: | 中国有色金属工业协会(参考) | |
起草单位: | 贵研铂业股份有限公司(参考) | |
起 草 人: | 刘成、赵汝云、陈伏生、马晓峰、刘继松、朱武勋(参考) | |
出 版 社: | 中国标准出版社(参考) |
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页 数: | 5页(参考) | |
书 号: | 155066·1-31525(参考) | |
计划单号: | 20062657-T-610(参考) | |
下载次数: | 41次 |