资料名称: | GB/T4060-2007 GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 |
标准类别: | 国家标准(GB) |
语 言: | 简体中文 | ||
授权形式: | 免费下载 | ||
标准状态: | 现行 | ||
作废日期: | ◎ | ||
发布日期: | 2007-12-18 | ||
实施日期: | 2008-02-01 | ||
首发日期: | 1983-12-20 | ||
复审日期: | ◎ | ||
出版日期: | 2008-02-01 |
标准编号: | GB/T 4060-2007 | |
标准名称: | 硅多晶真空区熔基硼检验方法 | |
下载文件: | .rar .pdf .doc | |
标准简介: | 本标准适用于多晶硅沉积在硅芯上生长的多晶硅棒基硼的试验。 GB/T 4060-2007 硅多晶真空区熔基硼检验方法 GB/T4060-2007 标准下载解压密码:www.bzxz.net | |
链接地址: | 点击下载 | |
替代情况: | 替代GB/T 4060-1983(参考) | |
采标情况: | (参考) | |
发布部门: | 中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会(参考) | |
提出单位: | 中国有色金属工业协会(参考) | |
归口单位: | 全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(参考) | |
主管部门: | 中国有色金属工业协会(参考) | |
起草单位: | 峨眉半导体材料厂(参考) | |
起 草 人: | 罗莉萍、梁洪、覃锐兵、王炎、王向东(参考) | |
出 版 社: | 中国标准出版社(参考) |
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页 数: | 8页(参考) | |
书 号: | (参考) | |
计划单号: | 20031797-T-610(参考) | |
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