标准编号: |
GB/T 19921-2005 |
标准名称: |
硅抛光片表面颗粒测试方法 |
下载文件: |
.rar .pdf .doc |
标准简介: |
本标准规定了应用扫描表面检查系统(SSIS)对硅抛光片表面颗粒进行测试、计数和报告的程序。本标准适用于硅抛光片,也可适用于硅外延片或其他镜面抛光片(如化合物抛光片)。本标准也适用于观测硅抛光片表面的划痕、桔皮、凹坑、波纹等缺陷,但这些缺陷的检测、分类依赖于设备的功能,并与检测时的初始设置有关。 GB/T 19921-2005 硅抛光片表面颗粒测试方法 GB/T19921-2005 标准下载解压密码:www.bzxz.net |
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替代情况: |
(参考) |
采标情况: |
SEMI M25-1995 NEQ SEMI M35-0299 NEQ SEMI M50-1101 NEQ ASTM F1620-1996 NEQ ASTM F1621-1996 NEQ(参考) |
发布部门: |
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会(参考) |
提出单位: |
中国有色金属工业协会(参考) |
归口单位: |
全国有色金属标准化技术委员会(参考) |
主管部门: |
中国有色金属工业协会(参考) |
起草单位: |
北京有色金属研究总院(参考) |
起 草 人: |
孙燕、卢立延、董慧燕、刘红艳、翟富义(参考) |
出 版 社: |
中国标准出版社(参考) |
页 数: |
16开, 页数:10, 字数:16千字(参考) |
书 号: |
155066.1-26924(参考) |
计划单号: |
20000544-T-610(参考) |
下载次数: |
16次 |